功能特點(diǎn)

● 專為微電子網(wǎng)版開發(fā)，缺陷自動偵測

● 機(jī)身結(jié)構(gòu)強(qiáng)度高及超高精度線軌，重復(fù)定位精度<4μm，掃描穩(wěn)定

● 採用進(jìn)口高解析度工業(yè)相機(jī)2.4μm位元，且可按需定製

● 快速影像處理系統(tǒng)，100sec/0.04㎡/2.36μm(依據(jù)解析度)

● AI智慧學(xué)習(xí)功能,依據(jù)客戶標(biāo)準(zhǔn)逐步降低漏檢、誤檢

● ≥5um或者10um以上的缺陷漏檢率：≤1%(未知缺陷不做考評)

● 假點(diǎn)誤判率：單次檢測的假點(diǎn)總數(shù)目大於100個的概率事件≤20%

● 三種模式檢驗(yàn)：CAM資料對比+AI深度學(xué)習(xí)+盲檢演算法

● 檢修一體，鐳射定位，缺陷圖像自動對焦放大，實(shí)現(xiàn)邊檢邊修，并可搭配多臺線上網(wǎng)版返修機(jī)，資料互聯(lián)，實(shí)現(xiàn)檢修分離，高效作業(yè)

● 遠(yuǎn)端升級，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)端及時服務(wù)回應(yīng)

規(guī)格型號